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CMPro-P系列聚丙烯(PP)深层折叠滤芯

简要描述:CMPro-P系列聚丙烯(PP)深层折叠滤芯是化学机械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)液大颗粒和胶体去除的理想选择,尤其适用于氧化物、金属钨和金属铜CMP制程中所用的研磨液的过滤。

基础信息

产品型号

厂商性质

生产厂家

更新时间

2023-12-26

浏览次数

141

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详细介绍
品牌Membrane Solutions/迈博瑞供货周期现货

产品描述

CMPro-P系列聚丙烯(PP)深层折叠滤芯由折叠的多层渐变聚丙烯膜和聚丙烯骨架组成。CMPro-P系列聚丙烯(PP)深层折叠滤芯是化学机械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)液大颗粒和胶体去除的理想选择,尤其适用于氧化物、金属钨和金属铜CMP制程中所用的研磨液的过滤。可有效去除slurry中的团聚颗粒和胶体杂质。此外,CMPro-P滤芯采用的宽幅深层折叠设计大幅度提高了过滤面积和纳污容量,使其具备超低的压损和更长的使用寿命。

产品特点

  • 宽幅深层折叠使其具备超低的压损和更长的使用寿命

  • 较大的过滤面积,结合渐变的锥形孔结构,使剪切力最小化

  • 渐变孔径实现分级过滤,拦截大颗粒并放行有效研磨颗粒

  • 在洁净车间生产、测试和包装,确保产品洁净度

  • 采用热熔焊接技术,确保无污染

典型应用

产品保证

工作特性

材 料过滤层/支撑层聚丙烯
外壳/中心杆/端盖聚丙烯
密封圈EPDM
精 度0.8μm, 1.0μm, 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm, 15.0μm
尺寸规格外径69mm
长度10inch, 20inch
最大使用条件最大正向压差0.52 MPa (75 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F)
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ˚C (179 ˚F)
最大反向压差0.21 MPa (30 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F)
最高使用温度80 ˚C (176 ˚F)

产品尺寸

CMPro-P系列 CMP专用聚丙烯(PP)深层折叠滤芯

标称尺寸ABC
10"263.0±2mm249.0±2mm239.5±2mm
20"511.0±2mm497.0±2mm487.5±2mm

流量-压差曲线图

CMPro-P系列 CMP专用聚丙烯(PP)深层折叠滤芯-流量压差曲线

订购信息

CMPP精度端盖直径长度密封圈洁净度包装方式

008 (0.8μm)

010 (1.0μm)

015 (1.5μm)

030 (3.0μm)

050 (5.0μm)

100 (10μm)

150 (15μm)

N(222 平头)

F(双开口密封垫)

S(直径=69mm)

10 (10")

20 (20")

P (EPDM)E(Electronic)

D (干包装)

W (超纯水预润湿包装)


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